廈門半導(dǎo)體芯片制造班

【培訓(xùn)目標(biāo)】

學(xué)員能掌握半導(dǎo)體芯片制造技術(shù)的理論知識(shí)和實(shí)操技能，能獨(dú)立從事芯片制造的外延、光刻、清洗、蒸發(fā)、刻蝕、封裝、測(cè)試等各核心環(huán)節(jié)的技術(shù)與營(yíng)運(yùn)工作。

【課程內(nèi)容】

第1章 概述

1.1集成電路的發(fā)展歷程、集成電路的由來(lái)

1.2集成電路的分類、按器件導(dǎo)電類型分類、按器件功能分類

1.3集成電路工藝基礎(chǔ)、集成電路的材料、二極管、三極管

1.4集成電路的生產(chǎn)環(huán)境

實(shí)習(xí)1 芯片制造設(shè)備認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)基本操作教學(xué)

第2章  半導(dǎo)體材料

2.1晶體結(jié)構(gòu)

2.2晶面與晶向

2.3晶體中的缺陷和雜質(zhì)

2.4單晶硅的制備

2.5晶圓加工

實(shí)習(xí)1 工藝仿真實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)及襯底特性分析實(shí)驗(yàn)

實(shí)習(xí)2 氧化工藝分析與應(yīng)用實(shí)驗(yàn)

第3章   薄膜的制備

3.1氧化膜的制備

實(shí)習(xí)1 氧化爐認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

3.2化學(xué)氣相淀積

3.3外延生長(zhǎng)

3.4物理汽相淀積

實(shí)習(xí)2 物理氣相沉積設(shè)備認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

實(shí)習(xí)3 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備和硅外延設(shè)備認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

實(shí)習(xí)4 原子層沉積設(shè)備認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

第4章  摻雜技術(shù)

4.1離子注入

4.2擴(kuò)散

實(shí)習(xí)1 離子注入工藝分析與應(yīng)用實(shí)驗(yàn)

實(shí)習(xí)2 擴(kuò)散和退火工藝分析與應(yīng)用實(shí)驗(yàn)

實(shí)習(xí)3 離子注入機(jī)認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

實(shí)習(xí)4激光退火設(shè)備認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

實(shí)習(xí)5 退火爐、擴(kuò)散爐和低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

第5章  光刻技術(shù)

5.1光刻材料及設(shè)備

5.2光刻工藝

實(shí)習(xí)1 極紫外光（EUV）光刻機(jī)認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

5.3刻蝕工藝

實(shí)習(xí)2金屬刻蝕機(jī)認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

實(shí)習(xí)3 硅刻蝕機(jī)、介質(zhì)刻蝕機(jī)、光刻膠刻蝕機(jī)、化合物刻蝕機(jī)認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

5.4光刻質(zhì)量檢測(cè)實(shí)驗(yàn)

實(shí)習(xí)4 槽式清洗機(jī)認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)

實(shí)習(xí)5沉積、外延、光刻、刻蝕與典型前后道工序?qū)嶒?yàn)

第6章 硅平面工藝流程

6.1雙極型集成電路工藝流程

6.2MOS工藝

6.3CMOS工藝

6.4Bi-CMOS工藝

實(shí)習(xí)1 電阻和二極管成套工藝分析實(shí)驗(yàn)

實(shí)習(xí)2 JFET和MESFET成套工藝分析實(shí)驗(yàn)

實(shí)習(xí)3 雙極型晶體管成套工藝分析實(shí)驗(yàn)

實(shí)習(xí)4 MOSFET成套工藝分析實(shí)驗(yàn)

第7章  金屬化與平坦化

7.1歐姆接觸

7.2金屬布線

7.3金屬膜的制備

7.4平坦化

7.5銅金屬化

實(shí)習(xí)1：測(cè)試站點(diǎn)

實(shí)習(xí)2：失效分析

第8章 芯片的識(shí)別

8.1了解流程和鋁絲壓焊機(jī)的使用

8.2擴(kuò)晶機(jī)了解

8.3擴(kuò)晶機(jī)的操作（實(shí)操）

8.4擴(kuò)晶時(shí)的注意事項(xiàng)

第 9章 刺晶

9.1刺晶時(shí)工具的使用

9.2刺晶的注意事項(xiàng)

9.3手動(dòng)備膠和點(diǎn)膠

第10章 鍵合機(jī)

10.1超聲波金絲球壓焊機(jī)的操作方法

10.2超聲波鋁絲球壓焊機(jī)的操作方法

10.3設(shè)置參數(shù)

10.4芯片鍵合

第11章 灌膠

11.1調(diào)膠的工具使用

11.2灌膠的注意事項(xiàng)

第12章 綜合實(shí)訓(xùn)

12.1  LED支架的刺晶（實(shí)操）

12.2  8位數(shù)碼管的刺晶（實(shí)操）

12.3  LED支架的鍵合（實(shí)操）

12.4  8位數(shù)碼管的鍵合（實(shí)操）

12.5   灌膠（實(shí)操）

12.6   烘烤完后的剪切及檢測(cè)（實(shí)操）

【機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)介】

美德職業(yè)培訓(xùn)學(xué)校是由人力資源和社會(huì)保障局批準(zhǔn)設(shè)立的一所技能培訓(xùn)學(xué)校，學(xué)校坐落于廈門市湖里區(qū)火炬新科廣場(chǎng)，環(huán)境優(yōu)美，交通便利。

學(xué)校不斷強(qiáng)化“質(zhì)量立校、人才強(qiáng)校、文化鑄校、特色興?！睉?zhàn)略，十分注重師資隊(duì)伍建設(shè)，擁有一支結(jié)構(gòu)合理、業(yè)務(wù)精湛、經(jīng)驗(yàn)豐富、德技兼?zhèn)涞膸熧Y隊(duì)伍。學(xué)校辦學(xué)實(shí)力雄厚，條件優(yōu)良，現(xiàn)開設(shè)了:工業(yè)機(jī)器人，PLC編程，半導(dǎo)體芯片制造，新能源汽車維修檢測(cè)，計(jì)算機(jī)程序設(shè)計(jì)，新媒體運(yùn)營(yíng)等培訓(xùn)項(xiàng)目。現(xiàn)建有多媒體教室、實(shí)訓(xùn)中心、學(xué)生公寓、食堂等辦學(xué)場(chǎng)所，現(xiàn)代化教學(xué)設(shè)備設(shè)施一應(yīng)俱全。

學(xué)校實(shí)施“校企合作、工學(xué)結(jié)合、訂單培養(yǎng)”等育人模式，與多家知名企業(yè)簽訂了校企合作協(xié)議，保障畢業(yè)生能就業(yè)，就好業(yè)。

學(xué)校堅(jiān)持“以立德樹人為根本、以服務(wù)發(fā)展為宗旨、以促進(jìn)就業(yè)為導(dǎo)向、以提高質(zhì)量為核心”的指導(dǎo)思想，秉承“以人為本、全面發(fā)展”的辦學(xué)理念，奉行“德技兼修、知行合一”的校訓(xùn)，朝著“特色突出、社會(huì)滿意、”的辦學(xué)目標(biāo)而努力奮斗。

工業(yè)機(jī)器人培訓(xùn)中心

技能提升基地

【師資簡(jiǎn)介】

王進(jìn)老師

畢業(yè)于江西理工大學(xué)，機(jī)械工程專業(yè)，碩士學(xué)位；

持有電工高級(jí)技師證、高級(jí)軟件開發(fā)工程師；

高校講師、持有高等院校教師資格證、高級(jí)中學(xué)物理教師資格證。

一、工作經(jīng)歷：

2009-2018年在海南科技職業(yè)大學(xué) 擔(dān)任教師、教學(xué)副院長(zhǎng)

2018-2021年在于都理工服裝職業(yè)學(xué)校擔(dān)任教學(xué)副校長(zhǎng)

2021年至今在廈門美德職業(yè)培訓(xùn)學(xué)校擔(dān)任校長(zhǎng)

二、獲獎(jiǎng)及成果、著作

2018.10：海南省電子設(shè)計(jì)大賽一等獎(jiǎng)

2018.10：發(fā)表核心論文“闡述關(guān)于集成運(yùn)算放大器的教材改進(jìn)”第1一作者 科學(xué)與信息化

2018.05 ：獲技能大賽嵌入式項(xiàng)目國(guó)賽三等獎(jiǎng)

2018.06 ： 發(fā)表SCI論文“ The Use Of Op Amp in the Game”第二作者 JOURNAL OF ADVANCED OXIDATION TECHNOLOGIES

2018.06 ：主編教材“電氣控制與PLC”

2018.03 ： 獲技能大賽嵌入式項(xiàng)目海南省一等獎(jiǎng)

2018.03 ：獲技能大賽嵌入式項(xiàng)目省優(yōu)秀指導(dǎo)教師

2017.12 ： 全國(guó)大學(xué)生電子設(shè)計(jì)大賽國(guó)家二等獎(jiǎng)

2017.12 ：海南省大學(xué)生電子設(shè)計(jì)大賽一等獎(jiǎng)

2017.12 ： 海南省電子大賽省優(yōu)秀指導(dǎo)教師

2017.9 ：頂崗實(shí)習(xí)優(yōu)秀指導(dǎo)教師

2017.7：獲技能大賽汽修項(xiàng)目省二等獎(jiǎng)

2017.7：獲技能大賽汽修項(xiàng)目省三等獎(jiǎng)

2017.1 ：參加省級(jí)教改項(xiàng)目 第二主持人

2016.12 ：海南省省級(jí)青師賽優(yōu)秀獎(jiǎng)

2016.9：獲校級(jí)師德師風(fēng)先進(jìn)個(gè)人

2016.4：發(fā)表論文“工業(yè)電氣自動(dòng)化的重要性和發(fā)展趨勢(shì)研究”第1作者 科技傳播ISSN1674-6708 CN11-5820/N

2016.4：發(fā)表論文“電氣自動(dòng)化控制設(shè)備可靠性測(cè)試的方法探微”第1作者 無(wú)線互聯(lián)科技ISSN1672-6944 CN32-1675/TN

2015.11：全國(guó)大學(xué)生電子設(shè)計(jì)大賽國(guó)家二等獎(jiǎng)

2015.11：海南省大學(xué)生電子設(shè)計(jì)大賽一等獎(jiǎng)

2015.11：海南省電子大賽省優(yōu)秀指導(dǎo)教師

林廷威老師

畢業(yè)于福建信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院工業(yè)機(jī)器人技術(shù)專業(yè)；

持有工業(yè)機(jī)器人集成應(yīng)用職業(yè)技能等級(jí)證書

一、在校期間：

1、參加過(guò)“西門子杯”CIMC中國(guó)智能制造挑戰(zhàn)賽-離散行業(yè)自動(dòng)化方向榮獲特等獎(jiǎng)；

2、設(shè)計(jì)基于西門子PLC-1200的多部電梯群控方案及虛擬仿真功能實(shí)現(xiàn)；

3、曾獲智能制造學(xué)院全年獎(jiǎng)學(xué)金。

二、工作經(jīng)歷：

1、在浙江錢江智能裝備有限公司擔(dān)任電氣工程師，從事電氣調(diào)試工作，參與過(guò)自動(dòng)機(jī)加工生產(chǎn)線項(xiàng)目，主要負(fù)責(zé)機(jī)器人自動(dòng)上下料，伺服電機(jī)控制及一些其他輔助配合。例如：日產(chǎn)新寶上下料項(xiàng)目、方太集煙罩自動(dòng)生產(chǎn)線項(xiàng)目以及其他電氣柜輔助安裝調(diào)試。

2、在威瑞電動(dòng)汽車新能源電池裝配項(xiàng)目，主要負(fù)責(zé)貼膠檢測(cè)、機(jī)器人引導(dǎo)抓件，相機(jī)物品識(shí)別。

3、在寧德時(shí)代裸電芯檢測(cè)項(xiàng)目，寧德時(shí)代模組線焊后檢測(cè)項(xiàng)目，主要負(fù)責(zé)針對(duì)現(xiàn)場(chǎng)客戶需求對(duì)視覺(jué)檢測(cè)軟件的調(diào)試以及現(xiàn)場(chǎng)PLC程序問(wèn)題的整改。

4、在九江振邦技工學(xué)校擔(dān)任電工基礎(chǔ)、PLC、工業(yè)機(jī)器人專業(yè)教師。

5、在美德職業(yè)培訓(xùn)學(xué)校擔(dān)任工業(yè)機(jī)器人、PLC專業(yè)教師，主要負(fù)責(zé)學(xué)員理論課和實(shí)訓(xùn)課的傳授，具有豐富的教學(xué)實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。

池京龍老師

畢業(yè)于江西新能源科技職業(yè)學(xué)院工業(yè)機(jī)器人技術(shù)專業(yè)。

一、在校期間：

1、參加過(guò)“工業(yè)機(jī)器人技術(shù)應(yīng)用”江西省職業(yè)院校技能大賽獲獎(jiǎng)。

2、參加過(guò)“無(wú)人車智能挑戰(zhàn)賽”中國(guó)機(jī)器人及人工智能大賽獲獎(jiǎng)。

二、工作經(jīng)歷：

1、在蘇州伊之密擔(dān)任安調(diào)工程師，從事電氣調(diào)試工作，參與過(guò)智能壓鑄島項(xiàng)目，主要負(fù)責(zé)對(duì)噴漆機(jī)器人和取件機(jī)器人的安裝調(diào)試，及所有設(shè)備的通信。以及其他自動(dòng)化項(xiàng)目的安裝與調(diào)試如變頻器、步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器，PLC主要以三菱Q系列和FX系列；西門子S7-1200；

2、在福建莆田理工技術(shù)學(xué)校擔(dān)任工業(yè)機(jī)器人、PLC、電工基礎(chǔ)等專業(yè)課程；

3、在廈門美德職業(yè)培訓(xùn)學(xué)校擔(dān)任工業(yè)機(jī)器人、PLC專業(yè)教師，主要負(fù)責(zé)學(xué)員理論課和實(shí)訓(xùn)課的傳授，具有豐富的教學(xué)實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。

田文國(guó)老師

畢業(yè)于東華理工大學(xué)自動(dòng)化專業(yè)；

持有工業(yè)機(jī)器人集成應(yīng)用職業(yè)技能等級(jí)證書。

一、在校期間：

1、參加過(guò)“全國(guó)智能電力控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)與應(yīng)用技能大賽”榮獲二等獎(jiǎng)；

2、2017年獲得國(guó)家勵(lì)志獎(jiǎng)學(xué)金年獎(jiǎng)學(xué)金；

3、2017年被評(píng)為學(xué)?！皟?yōu)秀青年志愿者”；

4、2018年評(píng)選為院級(jí)“優(yōu)秀團(tuán)干”；

5、2018年評(píng)為學(xué)?！叭脤W(xué)生”榮譽(yù)稱號(hào)；

6、2020年獲得東華理工大學(xué)“三等獎(jiǎng)學(xué)金”；

7、2020年被評(píng)為東華理工大學(xué)“素拓之星”；

8、在校任職學(xué)習(xí)委員、學(xué)生會(huì)副主席職位；

二、工作經(jīng)歷：

1、在上饒晶科能源有限公司擔(dān)任工藝工程師，從事太陽(yáng)能電池組件生產(chǎn)工藝產(chǎn)品質(zhì)量工作，參與自動(dòng)生產(chǎn)線產(chǎn)品工藝項(xiàng)目，主要負(fù)責(zé)太陽(yáng)能電池組件如何達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量，對(duì)廠內(nèi)電氣設(shè)備元器件檢查調(diào)試是否合格。

2、在成都富士康負(fù)責(zé)檢驗(yàn)平板LOGO大小合格，對(duì)機(jī)器人檢測(cè)控制放入檢測(cè)。

3、在橫店?yáng)|磁集團(tuán)有限公司負(fù)責(zé)mess系統(tǒng)通信檢修和安裝，通過(guò)RFID傳感器上傳到5G通信端然后每臺(tái)設(shè)備相互構(gòu)成局域本地網(wǎng)發(fā)送到后臺(tái)服務(wù)器上傳到公司開發(fā)得mess系統(tǒng)可以上傳產(chǎn)品數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)和設(shè)備故障，通過(guò)遠(yuǎn)端查看設(shè)備狀態(tài)對(duì)廠區(qū)所有設(shè)備、產(chǎn)品數(shù)嚴(yán)格把關(guān)和統(tǒng)計(jì)。

4、在江西贛州安遠(yuǎn)中等專業(yè)學(xué)校擔(dān)任工業(yè)機(jī)器人、PLC專業(yè)教師；

5、在廈門美德職業(yè)培訓(xùn)學(xué)校擔(dān)任工業(yè)機(jī)器人、PLC專業(yè)教師，主要負(fù)責(zé)學(xué)員理論課和實(shí)訓(xùn)課的傳授，具有豐富的理論教學(xué)和實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。

徐信琳老師

畢業(yè)于廈門理工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)院機(jī)電一體化專業(yè)；

持有維修電工高級(jí)工、高級(jí)工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)運(yùn)維員證書。

工作經(jīng)歷：

2011-2022年就職于廈門松興智能機(jī)器人有限公司，公司是松下電焊機(jī)、機(jī)器人福建區(qū)域代理銷售服務(wù)商，主營(yíng)松下機(jī)器人品牌，專注于焊接、切割及綜合應(yīng)用的技術(shù)型企業(yè)，同時(shí)也有銷售發(fā)那科、安川等其他工業(yè)機(jī)器人。在公司主要負(fù)責(zé)工業(yè)機(jī)器人的安裝、調(diào)試、維修、保養(yǎng)、操作培訓(xùn)等售后服務(wù)工作。

2022-至今在廈門美德職業(yè)培訓(xùn)學(xué)校擔(dān)任工業(yè)機(jī)器人、PLC專業(yè)教師，主要負(fù)責(zé)學(xué)員理論課和實(shí)訓(xùn)課的傳授，具有豐富的理論教學(xué)和實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。

林菁老師

畢業(yè)于中國(guó)傳媒大學(xué)南廣學(xué)院音樂(lè)傳播及播音主持專業(yè)；

持有多媒體運(yùn)營(yíng)師高級(jí)證書、江蘇省執(zhí)業(yè)經(jīng)紀(jì)人證書、國(guó)家普通話一級(jí)證書、初級(jí)中學(xué)音樂(lè)教師資格證書、廈門音樂(lè)季國(guó)際鋼琴公開賽優(yōu)秀指導(dǎo)教師、亞洲國(guó)際音樂(lè)交流協(xié)會(huì)副秘書長(zhǎng)。

一、在校期間

1、大學(xué)四年擔(dān)任班長(zhǎng)，寢室長(zhǎng)。并曾為學(xué)生會(huì)成員，系女籃隊(duì)員，校合唱團(tuán)成員。

2、2008-2009學(xué)年獲軍訓(xùn)標(biāo)兵榮譽(yù)稱號(hào)。

3、2009-2010 學(xué)年獲一等獎(jiǎng)學(xué)金，獲優(yōu)良學(xué)風(fēng)建設(shè)積極分子、優(yōu)秀班干稱號(hào)。

4、2010-2011 學(xué)年獲一等獎(jiǎng)學(xué)金，獲評(píng)優(yōu)秀暑期實(shí)踐報(bào)告，擔(dān)任戲劇企劃宣傳負(fù)責(zé)人及總舞臺(tái)監(jiān)督。

5、2011-2012學(xué)年獲一等獎(jiǎng)學(xué)金，獲三好學(xué)生稱號(hào)。

二、工作經(jīng)歷

2009年7月于廣東省深圳市愛(ài)愛(ài)教育中心負(fù)責(zé)音樂(lè)文化推廣

2009年8月于福建省南平市廣播電臺(tái)負(fù)責(zé)音樂(lè)節(jié)目制作

2010年7月于福建省廣播影視集團(tuán)東南衛(wèi)視開心100參與節(jié)目策劃

2012年7月至2013年3月于北京新麗傳媒股份有限公司擔(dān)任宣傳策劃

2013年5月至2014年5月于福建希望文化傳播有限公司從事媒體運(yùn)營(yíng)

2014年5月至2017年3月于廈門衛(wèi)視廣告有限公司擔(dān)任媒介經(jīng)理

2017年3月至今指尖華彩藝術(shù)教育、泛現(xiàn)代音樂(lè)中心擔(dān)任音樂(lè)教師

2022年5月成立廈門藝歆文化活動(dòng)策劃工作室，為創(chuàng)始人

2022年10月于廈門美德職業(yè)培訓(xùn)學(xué)校擔(dān)任副校長(zhǎng)。有豐富的媒體從業(yè)經(jīng)歷和教學(xué)經(jīng)驗(yàn)。

安萍老師

畢業(yè)于北京語(yǔ)言大學(xué)電子技術(shù)應(yīng)用專業(yè)；

工作經(jīng)歷：

1、在廣東東莞光輝科技有限公司擔(dān)任光刻技術(shù)員，從事芯片生產(chǎn)管理工作，主要負(fù)責(zé)跟蒸發(fā)，刻蝕，清洗各部門進(jìn)行協(xié)調(diào)生產(chǎn)工作

2、在清華同方半導(dǎo)體有限公司擔(dān)任生產(chǎn)組長(zhǎng)工作：主要負(fù)責(zé)人員報(bào)道情況，產(chǎn)線生產(chǎn)安排情況及車間6S衛(wèi)生狀況，，每天生產(chǎn)產(chǎn)量是否達(dá)標(biāo)匯報(bào)給上面領(lǐng)導(dǎo)；還擔(dān)任調(diào)度專員：主要負(fù)責(zé)生產(chǎn)產(chǎn)線上所有的物料，及發(fā)放每個(gè)車間用的物料，每月盤點(diǎn)車間物料庫(kù)存，倉(cāng)庫(kù)庫(kù)存以及在產(chǎn)線上有多少物料，核算下個(gè)月所用到的物料，及提前申購(gòu)下月物料。

3、在士蘭明鎵化合物半導(dǎo)體有限公司/生產(chǎn)管理中心芯片生產(chǎn)部/生產(chǎn)領(lǐng)班，主要負(fù)責(zé)1.協(xié)助生產(chǎn)投料執(zhí)行，保證生產(chǎn)線上按計(jì)劃流片生產(chǎn)；生產(chǎn)物流配給，保障生產(chǎn)物料供應(yīng)；生產(chǎn)線的現(xiàn)場(chǎng)管理，監(jiān)督班長(zhǎng)的現(xiàn)場(chǎng)執(zhí)行力；產(chǎn)線排程，流速管理，依生產(chǎn)調(diào)度安排，合理排程，保證制品有序生產(chǎn)；訂單跟蹤和反饋，確保訂單交期準(zhǔn)確，員工的日常行為規(guī)范，異常信息收集和反饋，重大異常的及時(shí)處理，響應(yīng)及時(shí)并規(guī)范處理，推動(dòng)建立跨部門溝通的能力

4、在江西吉安中等專業(yè)學(xué)校擔(dān)任芯片專業(yè)教師；

5、在廈門美德職業(yè)培訓(xùn)學(xué)校擔(dān)任芯片專業(yè)老師，主要負(fù)責(zé)學(xué)員理論課和實(shí)訓(xùn)課的傳授，具有豐富的理論教學(xué)和實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。

【教學(xué)現(xiàn)場(chǎng)】

上課現(xiàn)場(chǎng)

培訓(xùn)現(xiàn)場(chǎng)

講解現(xiàn)場(chǎng)

【機(jī)構(gòu)環(huán)境】

機(jī)構(gòu)環(huán)境

教學(xué)環(huán)境

教室

課室

設(shè)備